一、 產(chǎn)品用途：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，電子光電集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做無氧膠固化、粉末焙燒、材料表面處理、高校、科研院所、做真空氣氛燒結(jié)、氣氛還原、排膠、CVD實驗、真空退火等。
二、設(shè)備技術(shù)規(guī)格：
設(shè)備名稱：高溫無氧潔凈烘箱 型號：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技術(shù)參數(shù)：
1）溫度范圍：RT+25~200℃ 可根據(jù)客戶定制
2）溫度均勻性：150℃±3℃，200度±4℃（空載測試）
5）控溫精度：±0.3℃
6）溫度波動度：±1℃ （空載，恒溫狀態(tài)下測試）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧時間：<10min
9）加熱方式：內(nèi)部熱風循環(huán)加熱
10）升溫速率：每分鐘6-7度，降溫速率通過降溫系統(tǒng)可實現(xiàn)程序降溫
11）內(nèi)腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱體結(jié)構(gòu)：單門結(jié)構(gòu)
14）降溫方式：強制·風冷+輔助氣冷＋水冷.配置氮氣比例系統(tǒng)，可程序降溫
15）電源功耗：AC 380V 50HZ ，單個箱體 4KW
16潔凈度檢測方法：≤50ea@≥0.3μm空氣采樣流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱體結(jié)構(gòu)：
1）工作室材質(zhì)：采用1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板，氬弧焊滿燒工藝，外壁做槽型加強結(jié)構(gòu)，確保箱體牢固，高溫、不發(fā)生形變，內(nèi)部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材質(zhì)：采用1.5mm拉絲不銹鋼，
3）加強結(jié)構(gòu)：箱體底部及中間骨架采用槽鋼加強，確保箱體結(jié)構(gòu)強度及承重性良好。
4）保溫材料：采用氧化鋁陶瓷纖維耐高溫防火阻燃材料填充，保溫層厚度80-100mm，箱體表面溫度<45℃
5）密封條：采用耐高溫一體成型硅膠材質(zhì)，連續(xù)耐溫260℃以上，抗老化，密封性良好，長期耐高溫。
6）把手鉸鏈：采用不銹鋼拉手，鋅合金高承重機械鉸鏈，易開易關(guān)，密封良好。
7），如果客戶要求溫度高，門口配備水冷門框，內(nèi)部設(shè)計降溫風道倉，水冷盤管降溫處理
3.控制系統(tǒng)
3.1溫度控制系統(tǒng)：
采用不銹鋼加熱管加熱方式，，實現(xiàn)工作腔室內(nèi)均勻升溫。可連續(xù)使用2-3萬小時
1）溫控模塊：采用西門子PLC，7寸觸摸屏人機界面，歐姆龍溫度控制器，可編程控制，帶曲線界面，數(shù)據(jù)導(dǎo)出，485通訊接口，控溫精度0.3級，智能PID演算，傳感器斷線警報，AT自整定，超溫抑制，斷電記憶功能，控溫精準，穩(wěn)定性好
2）傳感器：采用A級PT100鉑金電阻傳感器，精度±0.15%，耐高溫抗干擾屏蔽信號線，溫度精準，反饋靈敏
3）接觸器品牌: 施耐德
4）執(zhí)行組件：AD+SSR固態(tài)繼電器，脈沖加熱。
5）排氣口：直徑60mm .1個，風閥執(zhí)行器，降溫階段閥門開啟，風道倉排氣口一個，直徑100mm
1） 鼓風電機：采用750W大功率三相耐高溫離心散熱風機，1臺
2） 過濾系統(tǒng)：高效百級過濾器每個箱體1個，0.1μ顆粒過濾效率99.99%,
3） 支持標準的SECS/GEM通訊協(xié)議，并支持EAP連接，配有MAS接口
5.安全保護系統(tǒng)：
1）漏電保護
2）接地保護
3）過載、過流保護
4）超溫保護
5）獨立限溫
6）工作狀態(tài)指示（運行-綠色，待機-黃色，故障-紅色）
7.電器組件：
所有配套電器均采用符合國際安全認證的國際一線大廠知名品牌正規(guī)渠道正品，確保設(shè)備安全可靠，運行穩(wěn)定。
8、使用環(huán)境要求：
1）環(huán)境條件：溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H；
2）電源：AC380V50HZ 三相五線
3）無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體；
4）環(huán)境氣壓：86～106Kpa；
5）箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供產(chǎn)品安裝、檢修使用
一、 產(chǎn)品用途：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，電子光電集成、精密陶瓷、冶金、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做無氧膠固化、粉末焙燒、材料表面處理、高校、科研院所、做真空氣氛燒結(jié)、氣氛還原、排膠、CVD實驗、真空退火等。
二、設(shè)備技術(shù)規(guī)格：
設(shè)備名稱：高溫無氧潔凈烘箱 型號：TS- WY 品牌：AEGMAT
1.技術(shù)參數(shù)：
1）溫度范圍：RT+25~200℃ 可根據(jù)客戶定制
2）溫度均勻性：150℃±3℃，200度±4℃（空載測試）
5）控溫精度：±0.3℃
6）溫度波動度：±1℃ （空載，恒溫狀態(tài)下測試）
7）氧含量： ＜100PPM
8）排氧時間：<10min
9）加熱方式：內(nèi)部熱風循環(huán)加熱
10）升溫速率：每分鐘6-7度，降溫速率通過降溫系統(tǒng)可實現(xiàn)程序降溫
11）內(nèi)腔尺寸：W600xD500xH400
13）箱體結(jié)構(gòu)：單門結(jié)構(gòu)
14）降溫方式：強制·風冷+輔助氣冷＋水冷.配置氮氣比例系統(tǒng)，可程序降溫
15）電源功耗：AC 380V 50HZ ，單個箱體 4KW
16潔凈度檢測方法：≤50ea@≥0.3μm空氣采樣流量：2.83L/min，0.3μm60以下，0.5μm50以下
2.箱體結(jié)構(gòu)：
1）工作室材質(zhì)：采用1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板，氬弧焊滿燒工藝，外壁做槽型加強結(jié)構(gòu)，確保箱體牢固，高溫、不發(fā)生形變，內(nèi)部光亮平整，密封性良好。
2）外箱材質(zhì)：采用1.5mm拉絲不銹鋼，
3）加強結(jié)構(gòu)：箱體底部及中間骨架采用槽鋼加強，確保箱體結(jié)構(gòu)強度及承重性良好。
4）保溫材料：采用氧化鋁陶瓷纖維耐高溫防火阻燃材料填充，保溫層厚度80-100mm，箱體表面溫度<45℃
5）密封條：采用耐高溫一體成型硅膠材質(zhì)，連續(xù)耐溫260℃以上，抗老化，密封性良好，長期耐高溫。
6）把手鉸鏈：采用不銹鋼拉手，鋅合金高承重機械鉸鏈，易開易關(guān)，密封良好。
7），如果客戶要求溫度高，門口配備水冷門框，內(nèi)部設(shè)計降溫風道倉，水冷盤管降溫處理
3.控制系統(tǒng)
3.1溫度控制系統(tǒng)：
采用不銹鋼加熱管加熱方式，，實現(xiàn)工作腔室內(nèi)均勻升溫。可連續(xù)使用2-3萬小時
1）溫控模塊：采用西門子PLC，7寸觸摸屏人機界面，歐姆龍溫度控制器，可編程控制，帶曲線界面，數(shù)據(jù)導(dǎo)出，485通訊接口，控溫精度0.3級，智能PID演算，傳感器斷線警報，AT自整定，超溫抑制，斷電記憶功能，控溫精準，穩(wěn)定性好
2）傳感器：采用A級PT100鉑金電阻傳感器，精度±0.15%，耐高溫抗干擾屏蔽信號線，溫度精準，反饋靈敏
3）接觸器品牌: 施耐德
4）執(zhí)行組件：AD+SSR固態(tài)繼電器，脈沖加熱。
5）排氣口：直徑60mm .1個，風閥執(zhí)行器，降溫階段閥門開啟，風道倉排氣口一個，直徑100mm
1） 鼓風電機：采用750W大功率三相耐高溫離心散熱風機，1臺
2） 過濾系統(tǒng)：高效百級過濾器每個箱體1個，0.1μ顆粒過濾效率99.99%,
3） 支持標準的SECS/GEM通訊協(xié)議，并支持EAP連接，配有MAS接口
5.安全保護系統(tǒng)：
1）漏電保護
2）接地保護
3）過載、過流保護
4）超溫保護
5）獨立限溫
6）工作狀態(tài)指示（運行-綠色，待機-黃色，故障-紅色）
7.電器組件：
所有配套電器均采用符合國際安全認證的國際一線大廠知名品牌正規(guī)渠道正品，確保設(shè)備安全可靠，運行穩(wěn)定。
8、使用環(huán)境要求：
1）環(huán)境條件：溫度 5～40℃；濕度 ≤85%R.H；
2）電源：AC380V50HZ 三相五線
3）無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體；
4）環(huán)境氣壓：86～106Kpa；
5）箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供產(chǎn)品安裝、檢修使用
